| Название продукта: | Измерительная система интерферометра лазера SJ6000 | Линейный измеряя ряд: | 0~80m |
|---|---|---|---|
| Разрешение: | 1 нм | Точность частоты лазера: | 0.05ppm |
| Рабочая температура:: | ℃ (0-40) | Динамическая интенсивность захвата:: | 50 кГц |
| Выделить: | измерительная система интерферометра лазера 0.05ppm,измерительная система интерферометра лазера 1nm,интерферометр смещения 1nm измеряя |
||
Лазерная интерферометрия признана высокоточным, высокочувствительным методом измерения, использующим длину волны света в качестве критерия, широко используемым в высокопроизводительном производстве.Система лазерного интерферометра SJ6000 включает в себя высокочастотный гелий-неонный лазерный генератор от американского поставщика, высокоточные модули компенсации окружающей среды, передовая обработка лазерных сигналов помех и высокопроизводительная компьютерная система управления.
Используя технологию стабилизации тепловой частоты с лазерным двойным продольным режимом и геометрическими параметрами интерференции оптического пути, SJ6000 обеспечивает долгосрочную стабильность,высокая точность (0.05ppm) лазерной мощности примерно за 6 минут, с мощной антиинтерферентной производительностью.и анализирует динамические характеристики.
| Параметры системы | Сенсоры окружающей среды |
|---|---|
|
Способ измерения:Единая частота Точность лазерной частоты:00,05 ппм Динамическая скорость захвата:50 кГц Время разогрева:~ 6 минут Рабочая температура:0-40°C Окружающая среда0-40°C, влажность 0-95% Температура хранения:-20°C до 70°C |
Температура атмосферы:±0,1°C (0-40°C), разрешение 0,01°C Температура материала:±0,1°C (0-40°C), разрешение 0,01°C Уровень влажности воздуха:± 5% (0-95%) атмосферное давление:± 0,1 кПа (65-115 кПа) |
| Линейные измерения | Измерение угла |
|---|---|
|
Диапазон измерений:0-80м Точность измерений:00,5 ppm (0-40°C) Решение:1 нм Максимальная скорость:4 м/с |
Аксиальный диапазон:0-15 м Диапазон измерений:± 10° Точность:±(0,02%R+0,1+0,24M) " Решение:0.1′′ R = значение указания (′′), M = измеренная длина (м)
|
| Измерение плоскости | |
|---|---|
| Аксиальный диапазон:0-15 м | Диапазон измерений:±1,5 мм |
| Точность:± 0,2%R+0,02M2) мкм | Решение:0.1 мкм |
| Размер подложки:Настройка 180 мм, 360 мм | |
|
R = показательное значение (μm), M = измеренная длина (m)
|
|
| Измерение прямоты | Короткая прямая | Длинная прямота |
|---|---|---|
| Диапазон оси | 0.1-4м | 1-20 м |
| Диапазон измерений | ± 3,0 мм | ± 3,0 мм |
| Точность | ± ((0,5+0,25%R+0,15M2) мкм | ± ((5,0 + 2,5%R + 0,015M2) μm |
| Резолюция | 00,01 мкм | 00,01 мкм |
|
R = показательное значение (μm), M = измеренная длина (m)
|
||
| Измерение перпендикулярности | Короткая прямая | Длинная прямота |
|---|---|---|
| Диапазон оси | 0.1-3 м | 1-15 м |
| Диапазон измерений | ± 3,0 мм | ± 3,0 мм |
| Точность | ± 2,5+0,25%R+0,8M) μm/m | ± 2,5 + 2,5%R + 0,08M) μm/m |
| Резолюция | 00,01 мкм | 00,01 мкм |
|
R = показательное значение (μm), M = измеренная длина (m)
|
||