разрешение измерительной системы 1nm интерферометра лазера 0.05ppm

1. Измеряя метод: одночастотный

1. Атмосферический датчик температуры: ℃ ±0.1℃ (0-40), разрешение: 0.01℃

2. Точность частоты лазера: 0.05ppm

2. Материальный датчик температуры: ℃ ±0.1℃ (0-40), разрешение: 0.01℃

3. Динамическая интенсивность захвата: 50kHz

3. Датчик атмосферной влажности: ±5% (0-95%)

4. Время подогрева: минута около 6

4. Датчик атмосферного давления: kPa ±0.1kPa (65~115)

5. Рабочая температура: ℃ (0-40)

6. Температура окружающей среды: ℃ (0-40), влажность: 0-95%

7. Температура хранения: -20℃-70℃

1. Измеряя ряд: (0-80) m

1. Осевой ряд: (0-15) m

2. Измеряя точность: (0-40) ℃ 0.5ppm

2. Измеряя ряд: ±10°

3. Измеряя разрешение: 1nm

3. Точность: ″ ± (0.02%R+0.1+0.24M) (r показывает значение, блок: ″; M измерен длина в m)

4. Максимальная измеряя скорость: 4m/s

4. Измеряя разрешение: 0,1 ″

1. Осевой ряд: (0-15) m

2. Ряд плоскостности измеряя: ±1.5 mm

3. Точность: μm ± (0.2%R+0.02M2) (r показывает значение в μm; M измерен длина в m)

4. Размер субстрата: 180mm регулируемое, 360mm регулируемое

5. Измеряя разрешение: 0.1μm

Короткая прямота

(0.1-4) m

±3.0mm

μm ± (0.5+0.25%R+0.15M2)

0.01μm

Длинная прямота

(1-20) m

±3.0mm

μm ± (5.0+2.5%R+0.015M2)

0.01μm

Примечание: R показывает значение в μm; M измерен длина в метрах

Короткая прямота

(0.1-3) m

±3.0mm

± (2.5+0.25%R+0.8M) μm/m

0.01μm

Длинная прямота

(1-15) m

±3.0mm

± (2.5+2.5%R+0.08M) μm/m

0.01μm

Примечание: R показывает значение в μm; M измерен длина в метрах