| Название продукта: | Измерительная система интерферометра лазера SJ6000 | Линейный измеряя ряд: | 0~80m |
|---|---|---|---|
| Разрешение: | 1 нм | Точность частоты лазера: | 0.05ppm |
| Рабочая температура:: | ℃ (0-40) | Динамическая интенсивность захвата:: | 50 кГц |
| Выделить: | Одночастотный интерферометр лазера,измеряющие приборы 0.05ppm,измеряющие приборы разрешения 1nm |
||
Лазерный интерферометр признан высокоточным, высокочувствительным методом измерения, который использует длину волны света в качестве критерия, широко используемого в высокопроизводительных областях.Система лазерного интерферометра SJ6000 включает в себя высокочастотный гелий-неонный лазерный генератор от американского поставщика, высокоточные модули компенсации окружающей среды, передовая обработка лазерных сигналов помех и высокопроизводительная компьютерная система управления.
Используя технологию стабилизации тепловой частоты лазерного двойного продольного режима и геометрические параметры интерференции оптического пути проектирования, SJ6000 обеспечивает долгосрочную стабильную, высокую точность (0.С помощью различных модулей призма он может измерять линейность, угол, прямоту, плоскость,перпендикулярность, и анализировать динамические характеристики.
| Параметр | Спецификация |
|---|---|
| Метод измерения | Единая частота |
| Точность лазерной частоты | 00,05 ппм |
| Динамическая скорость захвата | 50 кГц |
| Время разогрева | Примерно 6 минут |
| Рабочая температура | (0-40) °C |
| Условия окружающей среды | Температура: (0-40) °C, влажность: 0-95% |
| Температура хранения | -20°C до 70°C |
| Тип датчика | Спецификация |
|---|---|
| Датчик атмосферной температуры | ±0,1°C (0-40)°C, разрешение: 0,01°C |
| Датчик температуры материала | ±0,1°C (0-40)°C, разрешение: 0,01°C |
| Датчик атмосферной влажности | ± 5% (0-95%) |
| Датчик атмосферного давления | ± 0,1 кПа (65-115) кПа |
| Параметр | Спецификация |
|---|---|
| Диапазон измерений | (0-80) м |
| Точность измерений | 00, 5 ppm (0-40) °C |
| Разрешение измерения | 1 нм |
| Максимальная скорость измерения | 4 м/с |
| Параметр | Спецификация |
|---|---|
| Аксиальный диапазон | (0-15) м |
| Диапазон измерений | ± 10° |
| Точность | ±(0,02%R+0,1+0,24M) ′′ (R указывает значение, единица: ′′; M измеряется длиной в м) |
| Разрешение измерения | 0.1′′ |
| Параметр | Спецификация |
|---|---|
| Аксиальный диапазон | (0-15) м |
| Диапазон измерения плоскости | ±1,5 мм |
| Точность | ±(0,2%R+0,02M2)μm (R указывает значение в μm; M - измеренная длина в m) |
| Размер подложки | Настройка 180 мм, 360 мм |
| Разрешение измерения | 0.1 мкм |
| Тип | Диапазон оси | Диапазон измерений | Точность | Резолюция |
|---|---|---|---|---|
| Короткая прямота | (0,1-4) м | ± 3,0 мм | ± ((0,5+0,25%R+0,15M2) мкм | 00,01 мкм |
| Длинная прямота | (1-20) м | ± 3,0 мм | ± ((5,0 + 2,5%R + 0,015M2) μm | 00,01 мкм |
| Тип | Диапазон оси | Диапазон измерений | Точность | Резолюция |
|---|---|---|---|---|
| Короткая прямота | (0,1-3) м | ± 3,0 мм | ± 2,5+0,25%R+0,8M) μm/m | 00,01 мкм |
| Длинная прямота | (1-15) м | ± 3,0 мм | ± 2,5 + 2,5%R + 0,08M) μm/m | 00,01 мкм |