Система визуального измерения с ЧПУ серии HP для контроля полупроводниковых компонентов на микронном уровне

Измерительная машина с ЧПУ серии HP – контроль прецизионности на микронном уровне для полупроводниковых компонентов

HP442 - Полностью автоматический измерительный прибор с машинным зрением (тип с фиксированной портальной рамой)

HP: Высокоточный (High Precision). Основные характеристики машины с фиксированной портальной рамой – высокая точность и полная автоматизация. "HP" в данном контексте относится к портальной машине как к "автоматическому оптическому прецизионному измерительному прибору бесконтактного типа на микронном уровне". Это помогает повысить общую точность производства и производительность для клиентов.

• Разрешение: 0.5 мкм (0.1 мкм опционально)
• Камера: Промышленная цветная CCD камера
• Объектив: 1x-10x (переменное увеличение)
• Увеличение: 20X - 200X (зависит от модели камеры)
• Видеоувеличение: 18~195X (зависит от модели камеры)
• Рабочее расстояние: 85 мм
• Освещение: Программируемый поверхностный свет, параллельный нижний светодиодный свет (опционально: коаксиальный свет)
• Система привода: Управление ЧПУ, привод линейным двигателем; управление джойстиком, мышью и клавиатурой
• Разрешение линейной шкалы: 0.1 мкм

Пластиковые детали • Металлические детали • Штамповочные формы • Резиновые детали • Электронные компоненты • Компоненты печатных плат • Зубчатые детали

• Цельнозамкнутая конструкция подвижного моста с фиксированной заготовкой, обеспечивающая большую несущую способность и превосходные характеристики движения
• Технология конечных элементов, интегрированная в механический дизайн для обеспечения высокой жесткости и точности конструкции
• Гранитное основание класса 000 с высокой прочностью, коррозионной стойкостью и отличной стабильностью
• Рабочий стол с поверхностной обработкой оксидом алюминия для быстрого, гибкого управления движением, долговечности и эстетики

• Открытая решетчатая линейка RENISHAW с разрешением 0.5 мкм для высокой точности и стабильности
• Прецизионные линейные направляющие, шарико-винтовая пара шлифовального станка и серводвигатель переменного тока обеспечивают стабильность точности позиционирования
• Высокочеткая цветная гигабитная цифровая камера с разрешением 2 Мп для четкого наблюдения и стабильного измерения
• Высокочеткий оптический объектив 6.5x с точным автоматическим зумом и быстрой калибровкой пикселей
• Программируемый светодиодный источник поверхностного света с 5 кольцами и 8 зонами, система контурного светодиодного параллельного света с передачей и интеллектуальная регулировка яркости на 256 уровней
• Полное управление ЧПУ по всем осям с приводом от серводвигателя переменного тока с полным замкнутым контуром

Измерительный прибор с большой портальной рамой серии HE может быть оснащен различными 3D-датчиками для комплексных 2D/3D композитных измерений. Он также может быть оснащен бесконтактными датчиками, такими как щуп и лазер. Поддерживает полный ряд кронштейнов для щупов RENSHAW, позволяя пользователям выполнять автоматическое преобразование полномасштабных измерений на одном устройстве, значительно повышая производительность.